无尘室粘尘滚筒检测规程

粘尘滚筒是无尘室环境控制中不可或缺的工具，用于快速清除设备、工作台面、人员服装等表面的微粒污染物。为确保其性能稳定可靠，需进行定期检测。以下为通用检测规程：

一、 检测目的

  • 评估粘尘滚筒的初始粘尘能力。
  • 监测粘尘滚筒在使用过程中的性能衰减。
  • 确保粘尘操作能有效维持无尘室洁净度要求。
  • 为粘尘滚筒的更换或维护提供科学依据。
 

二、 检测工具与材料

  • 洁净度检测设备： 便携式或在线颗粒计数器（需校准合格）。
  • 标准测试板： 表面光滑、洁净度已知（如玻璃板、不锈钢板），尺寸需大于粘尘滚筒有效宽度。
  • 电子天平： 精度至少达到0.01克。
  • 无尘擦拭布： 用于清洁测试板和滚筒手柄。
  • 计时器：
  • 标记笔：
  • 洁净塑料袋/容器： 用于存放待测及已测滚筒。
  • 洁净室专用记录本/电子记录系统：
 

三、 环境要求

  • 检测应在与被测粘尘滚筒使用环境相同或更洁净级别的无尘室中进行。
  • 检测区域应远离主要产尘源，保持气流稳定。
  • 操作人员需穿戴符合该无尘室级别要求的洁净服，并遵循标准进入流程。
  • 所有工具、材料在进入检测区前需进行彻底清洁。
 

四、 检测前准备

  1. 环境确认： 使用颗粒计数器确认检测区域背景洁净度符合要求（通常应至少达到ISO Class 5或更优）。
  2. 测试板清洁：
    • 用无尘擦拭布蘸取适量无尘室专用清洁剂（如IPA与DI水混合物）彻底擦拭测试板表面。
    • 用干的无尘擦拭布擦干。
    • 在洁净环境下静置干燥。
  3. 滚筒预处理（如适用）：
    • 新开封滚筒：在检测环境中静置至少30分钟以适应温湿度。
    • 使用过的滚筒：记录其已使用次数或时长。
  4. 天平校准与归零： 确保电子天平已校准并在测量前归零。
 

五、 检测操作步骤

  1. 测试板称重 (W1)： 将洁净干燥的测试板置于电子天平上，稳定后记录其重量（W1），单位为克（g）。
  2. 测试板污染：
    • 在测试板表面划定一个与粘尘滚筒有效宽度等宽的长方形区域。
    • 将测试板置于洁净环境外（或使用标准粉尘源，如ISO A2细灰），施加规定量的标准粉尘（或模拟污染物）于划定区域内。确保粉尘分布相对均匀。
    • 称重 (W2)： 小心将污染后的测试板放回天平，记录重量（W2）。计算污染物重量 = W2 - W1。
  3. 粘尘操作：
    • 手持粘尘滚筒手柄，将粘性面轻轻放置在测试板污染区域的起始端。
    • 以恒定速度（建议约30厘米/秒）和均匀压力（仅利用滚筒自身重量或规定轻压），沿测试板长度方向滚动一次，覆盖整个污染区域（可采用单程或S型路线，需明确规定并在报告中注明）。
    • 确保滚筒边缘对齐污染区域边缘。
  4. 粘尘后测试板称重 (W3)： 将粘尘处理后的测试板小心放回天平，记录重量（W3）。
  5. 计算去除率：
    • 粘附污染物重量 = (W2 - W3)
    • 去除率 (%) = [(粘附污染物重量) / (污染物重量)] * 100% = [(W2 - W3) / (W2 - W1)] * 100%
  6. 重复测试： 对同一滚筒，需在测试板不同位置（或更换新测试板并重新污染）重复步骤1-5至少2次（建议3次），计算平均去除率。
  7. 滚筒粘性面检查： 目视检查粘尘滚筒表面，记录是否有明显污渍、破损、脱胶或粘性显著下降区域。
 

六、 结果判定与记录

  1. 合格标准：
    • 新滚筒： 平均去除率应 ≥ 规定值（如 ≥ 95% 或根据洁净室级别要求设定）。
    • 在用滚筒： 平均去除率应 ≥ 规定的最低可接受值（如 ≥ 80%）。同时，粘性面应无影响使用的明显污渍或破损。
  2. 记录：
    • 详细记录检测日期、时间、无尘室位置及环境条件（温湿度、洁净度级别）。
    • 记录粘尘滚筒型号/批号（避免厂商信息）、状态（新/已用次数或时长）。
    • 记录每次测量的 W1, W2, W3、计算出的污染物重量、粘附污染物重量及单次去除率。
    • 计算并记录平均去除率。
    • 记录粘性面目视检查结果。
    • 记录操作人员姓名。
    • 明确给出检测结论（合格/不合格）。
    • 不合格滚筒应清晰标识并隔离。
 

七、 检测频率

  • 新滚筒入库： 建议每批次抽样检测。
  • 在用滚筒： 根据使用频率、无尘室级别要求及历史数据确定。建议：
    • 关键区域（如Class 100/ISO 5及更高）：每次使用前或每日。
    • 普通区域（如Class 1000/ISO 6, Class 10000/ISO 7）：每周或每两周。
    • 支持区域（如Class 100000/ISO 8）：每月或根据状态。
  • 异常情况： 当发现滚筒性能疑似下降、粘性面严重污染或破损时，应立即检测。
 

八、 注意事项

  • 操作一致性： 滚动速度、施加压力、滚动路线必须严格保持一致，否则影响结果可比性。
  • 避免污染： 整个操作过程需极其小心，防止手套、衣物或环境引入额外污染干扰称重结果。
  • 工具清洁： 测试板、天平托盘等每次使用前后必须彻底清洁。
  • 温湿度影响： 环境温湿度会影响粘性材料的性能，检测环境应尽可能模拟实际使用条件。
  • 滚筒存储： 未使用和检测合格的滚筒应密封存放在洁净环境中。
  • 人员培训： 操作人员必须经过严格培训，熟练掌握检测流程和规范。
 

九、 结果应用

  • 合格滚筒： 继续按计划使用。
  • 不合格滚筒： 立即停止使用，按规定程序报废或退库处理，并分析原因（如存储不当、使用过度、质量问题等）。
  • 趋势分析： 定期汇总检测数据，分析滚筒性能衰减趋势，优化更换周期和采购策略。
 

本规程为通用技术指导，具体参数（如合格标准、检测频率、污染物类型/重量、滚动速度/压力等）需根据特定无尘室的工艺要求、洁净度级别以及所服务的行业标准（如半导体、医药GMP、显示面板等）进行细化和验证。