半导体设备

中科光析配备各类半导体检测分析设备,包括扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射仪(XRD)、光刻机、探针台、椭偏仪、离子刻蚀机等精密仪器,为晶圆制造、芯片封装、材料研发提供高精度检测与表征服务,检测周期 7-15 个工作日。

全国检测服务热线 400-635-0567

1000+精密仪器设备(台/套)
7-15标准检测周期(工作日)
CMA/CNAS电镜/光谱/力学等设备集群
100+半导体专用检测设备

设备分类

六大类半导体检测能力,覆盖缺陷检查、显微形貌、电性测试、膜厚测量、无损检测与可靠性评估全流程

核心仪器设备

实验室主力机型精选,为每一份检测报告的精准与可靠提供硬件支撑

AOI光学检测仪

AOI光学检测仪

AOI

自动光学检测外观缺陷、焊点质量与封装标识,高速成像配合算法自动判识异常。

应用领域:PCB / 半导体封装 / 电子元器件

全自动X-Ray检测机

全自动X-Ray检测机

X-Ray

X射线透视检测内部结构,识别焊点空洞、裂纹与夹杂异物,成像无损可追溯。

应用领域:BGA焊点 / 芯片封装 / 键合工艺

全自动晶圆探针台

全自动晶圆探针台

Wafer Prober

晶圆级电性测试平台,自动对准探针触点,批量完成芯片参数测量与筛选。

应用领域:晶圆测试 / 芯片筛选 / 工艺监控

激光共聚焦显微镜

激光共聚焦显微镜

LSCM

激光逐层扫描构建三维形貌,纳米级分辨率测量表面粗糙度与台阶高度。

应用领域:微结构3D形貌 / 薄膜厚度 / 表面粗糙度

红外热成像检测系统

红外热成像检测系统

IR Imaging

高灵敏度红外热像捕捉温度场分布,快速定位热点、漏电流与散热异常。

应用领域:芯片热点 / 功率器件 / 散热评估

薄膜膜厚测量仪

薄膜膜厚测量仪

Film Thickness

光学法无损测量薄膜厚度与折射率,支持单层及多层膜结构分析。

应用领域:光学镀膜 / 半导体工艺 / 功能涂层

超声扫描显微镜

超声扫描显微镜

SAT

超声波扫描检测材料内部缺陷与分层,对封装界面结合质量高度敏感。

应用领域:芯片粘接 / 封装分层 / 材料空洞

锡膏厚度检测仪

锡膏厚度检测仪

Solder Paste

3D激光测量锡膏印刷厚度与体积,保障SMT焊接质量一致性。

应用领域:SMT印刷 / 焊膏检测 / PCBA工艺

半导体参数分析仪

半导体参数分析仪

Parametric

精密IV/CV特性测量,支持器件参数提取、建模与可靠性分析。

应用领域:晶体管 / 二极管 / 工艺开发

设备优势

以严格的仪器管理体系,保障检测数据的准确性、可靠性与权威性

01

高精度

主力设备检出限低至 ppb 级,力学测量精度达 0.5 级,数据重复性与稳定性满足严苛标准要求。

02

定期校准

全部仪器按周期送法定计量机构校准并开展期间核查,关键设备建立量值溯源档案。

03

计量认证

CMA / CNAS 双资质覆盖,报告权威可靠且国际互认,可用于招投标与贸易验收。

04

覆盖多领域

仪器体系覆盖材料、化工、食品、医药、环境、电子等 10 余个行业,一站式满足多元检测需求。